カスタム高純度フランジ付き石英管プロジェクト ケース |半導体CVD管状炉真空リアクター用フランジ一体型石英ガラス管-sara
公開日: June 22, 2026
プロジェクトケース: オーダーメイド 高純度 フレンズ式クォーツガラスチューブ
ケース概要
このケースは,海外の半導体機器製造業者向けに カスタマイズされたフレンズ型クォーツ管の 批量生産を対象としています.高温耐性溶融シリカチューブ,CVD反応室と高温焼却炉のためのクォーツフレンズを組み込み管のサイズ,フレンズボルトの穴の配置,壁厚さ,高温のストレス解消焼却,管道漏れに関する長年の問題を解決する熱循環中の高汚れ汚染と頻繁に管の破裂.
協力 の 前 の 顧客 の 痛みの 点
- 元のボロシリケートガラスパイプは900°C以上の作業温度で変形し,フレンズ接管の漏れと不安定な真空環境を引き起こします.
- 熱冷回路が繰り返されても,焼却なしで溶接された普通のクォーツ管は簡単に裂け,交換コストが高く,生産停止時間が減ります.
- フレンズの寸法が制御不能で,クライアントの金属密封装置とマッチが不十分で,加工出力が低い.
- 低純度クォーツ原材料は金属離子汚染をもたらし,ウエファー加工精度に影響を与えた.
私たちのカスタマイズされたクォーツフレンズチューブソリューション
- 材料選択:低水酸化物含有度,金属不純度,半導体超清浄プロセスに適合する 99.99% 合成高純度溶融シリカを採用する.
- 熱溶接用フレンズ: 管体の片端/両端にフルフューズクォーツフレンズ,高強度溶接シーム,内部ストレスを排除するために完全に焼却,熱ショックに耐える.
- 精密なCNC加工: オーダーメイド外径,壁厚さ,管の長さ,フレンズ外径,ボルトの穴の位置とアパルチャー,厳格な許容度±0.02mm.
- 表面処理: 炎で磨かれた内側と外側の管壁は,泡,傷や微小の亀裂のない滑らかで,UVと可視光の伝達性が優れています.
- 構造のカスタマイズ: サポート シングルフレンズ,ダブルフレンズ,閉じたドーム底,厚壁高圧耐性構造 顧客の図面要件に応じて.
配達と実際の運用効果
試料の確認,試料の注文,大量生産を12日以内に完了しました 完全な次元検査,高温老化テスト,出荷前に真空密度テストを完了しました 顧客による設置と長期間の連続運転後:
- 高真空と連続作業温度1150°C下では漏れがゼロである.
- 100回以上の熱サイクル試験の後には割れ目がない 寿命は3倍以上延長される
- 汚れがゼロで,ウエフルの生産量は16%向上した.
- 標準のフレンジサイズは,クライアントの既存のクランプ&シール部品に完璧に合致し,機器の組み立て時間を大幅に短縮しました.
