シンガポール半導体用高透明融解石英観察窓ディスク石英ガラスシート - Mia

プロジェクト概要

• クライアント: シンガポールに本拠を置く半導体真空装置部品メーカー

• 製品: 高純度溶融シリカの観測窓ディスク (円形光学ビューポート部品)

• 供給者: リアンヤンガン・シェンファン・クォーツ・プロダクトス・コー., Ltd.

• 材料:高純度溶解シリカ (SiO2純度 ≥99.99%,低ヒドロキシル含有量)

• 適用する: 半導体プラズマエッチングおよび薄膜堆積装置の真空室の観測窓,リアルタイムで視覚的なプロセスモニタリングおよび光学検査に使用

• 基本プロセス: 精密なクォーツディスク切削,双面光学グレードのラッピングとポーリング,エッジチャンファーリング,次元検査.

クライアント の 最初 の 痛みの 点

1標準ガラスビューポートの不十分な伝播がプロセスモニタリングの精度に影響を与える

顧客は以前,標準的な低鉄性硬化ガラスを真空室の観測窓として使用していました.深い紫外線から近赤外線スペクトル (特に300nm以下) の光伝達性が急落したこれは,処理中にプラズマ状態とウェーファー表面状態の正確な観察を妨げ,プロセスパラメータ調整のタイミングと精度を損ないました.

2熱膨張の不一致が高温の故障を引き起こす

半導体エッチングおよび堆積プロセスは,頻繁に室温サイクルを伴う.標準ガラス窓は,比較的高い熱膨張係数を持っています.金属フレンズと一致しない. 繰り返し熱循環により,ストレスの裂け目が発生し,平均使用寿命は6ヶ月未満です.頻繁な交換によりコストが増加し,生産ラインのダウンタイムが発生しました.

3表面の仕上げが不十分で,光学検査の精度に影響する

顧客は光学検査装置 (光譜計,レーザー干渉計) を室外に設置し,非常に低い表面荒さと高い表面図の精度を必要とする.旧サプライヤーの製品は,一般的な工業級の表面品質のみを満たしていた (S/D 80/50)光学検出における信号/ノイズ比を低下させた.

ターゲット化された解決策と利点

1高純度溶融シリカ材料 ブロードバンド高伝導性

高純度溶融シリカ材料 (SiO2 ≥99.99%) を選択し,深紫外線 (185nm) から近赤外線 (2500nm) までの広帯域の高伝導性を示しました.DUV領域の伝播性が著しく改善されていますプロセスの監視と光学検査の正確性と信頼性を保証する.

2低熱膨張係数と優れた熱循環安定性

溶融したシリカの熱膨張係数は5.4×10−7/°Cのみで,標準ガラスよりもかなり低い.半導体真空室で繰り返し温度サイクルを行うとき,尺度の変化は最小です鉄のフレンズと優れた熱マッチングを提供し,ストレスの破裂リスクを排除する.使用寿命は標準のガラス窓の3〜5倍まで延長されます.

3高純度,低不純度 掃除環境の清潔性を確保する

ppbレベルで制御された金属不純度含有量の低ヒドロキシル溶融シリカ材料を選択する.高温真空条件下では,脱ガスや汚染が発生しない.半導体エッチングと堆積処理の厳格な室内清潔性要件を完全に満たす.

協力の結果と顧客からのフィードバック

1プロセスモニタリングの精度は著しく向上しました

高純度溶融シリカ窓を採用した後,クライアントはプラズマエッチングプロセス中にプラズマ分布とパネル表面条件をカ室内で明確に観察することができます.プロセスパラメータ調整のタイミングが約25%向上ワッフル生産量は約3%増加しました

2窓の使用寿命が大幅に延長された

Fused silica windows have been operating continuously in semiconductor vacuum chambers for over 18 months without stress cracks or transmittance degradation—more than 3 times the service life of standard glass windowsメンテナンスコストと生産ラインの停止時間が大幅に削減されました.

3. 光学検査信号の品質は最適化

光学グレードの表面仕上げ (Ra < 1nm,S/D 40/20) は,光の散乱損失を大幅に削減する.スペクトロメーターとレーザー干渉メーターの信号対ノイズ比率は約40%向上した.プロセス制御のためのより正確なリアルタイムデータサポートを提供.

4. 安定した重複的な大量注文

200枚の試用注文が成功した後,顧客は年次枠組契約に署名し,月平均注文は200~300枚でした.溶融シリカの観察窓は,クライアントの標準部品調達カタログに組み込まれています.