新しいエネルギー研究ラボのための多孔クォーツガス拡散プレート

公開日: September 12, 2026

燃料電池ガス拡散テストベンチ用マルチアレイ穴あき石英プレート

顧客背景: 海外大学の新エネルギー研究室

顧客の要件:

六角形に配置された貫通穴を備えた石英ガラス板、開口範囲 2 mm ～ 8 mm、使用温度 1100 °C まで、周期的高温雰囲気下でも変形なし。平面度と穴の位置精度は、燃料電池の研究開発実験におけるガス拡散の均一性に直接影響します。

当社のソリューション:

高純度JGS1石英原料を採用。プログラム制御された CNC 超音波ドリリングによる六角穴アレイの加工、その後の応力除去アニーリングと両面光学研磨。厳密な穴間隔公差 ±0.03 mm。

プロジェクトの結果:

ガス拡散の均一性は 94% 以上に達します。このプレートは、7 か月間周期的な高温実験を継続して実行しましたが、亀裂や歪みはありませんでした。研究所は、追跡調査バッチの繰り返し注文を行っています。

タイトル: 光学コーティング装置用の精密微細穴加工石英真空チャックプレート

顧客背景: ヨーロッパの光学機器メーカー

顧客の要件:

真空吸着のための高密度の微細穴配列を備えた厚い石英プレート。口径0.3mm、穴ピッチ1.5mm。穴の周囲に微小な亀裂はありません。このプレートは、真空および高紫外線環境下でレンズコーティングの位置決め治具として機能します。従来の機械による穴あけでは、欠けや隠れた微小亀裂が容易に発生します。

当社のソリューション:

熱影響部を最小限に抑えるための勾配エネルギーパラメータを使用したピコ秒レーザーの高精度穴あけ加工。後工程の化学研磨と完全焼鈍。すべての穴は金属顕微鏡で検査されます。

プロジェクトの結果:

受け入れテストで穴エッジの微小亀裂が検出されませんでした。真空吸着性能は機械仕様を完全に満たしています。お客様はサンプル検証後、調達したこのタイプの石英コンポーネントをすべて当社に転送します。

タイトル: 半導体ウェーハ処理治具用の複数の位置決め穴を備えた穴あけ石英ガラスプレート

顧客背景: アジアの半導体装置サプライヤー

顧客の要件:

複数の位置決め用貫通穴を備えた長方形の石英プレート。穴の位置に対する厳密な寸法公差。穴の内壁はバリがなく滑らかです。このコンポーネントは高温拡散炉内で使用されるため、汚染のリスクのない高純度の材料が必要です。

当社のソリューション:

JGS2 光学グレードの石英基板。 CNC精密穴あけ+内穴精密研磨。機械加工後に歪取り焼鈍を完了します。出荷時に全寸法検査レポートをお届けします。

プロジェクトの結果:

最初のトライアルで顧客の受入品質検査に合格します。石英プレートは高温炉内で粒子汚染の問題なく安定して動作します。長期にわたるバッチ供給協力を確立。