新しいエネルギー研究ラボのための多孔クォーツガス拡散プレート

公開日: September 12, 2026

タイトル：燃料電池ガス拡散試験ベンチ用マルチアレイ穴あき石英プレート

顧客背景：海外大学の新エネルギー研究室

顧客要件：

六角配列の貫通穴を持つ石英ガラスプレート、開口範囲2 mm～8 mm、使用温度1100℃まで、周期的な高温雰囲気下でも変形しないこと。平面度と穴位置精度は、燃料電池の研究開発実験におけるガス拡散均一性に直接影響します。

当社のソリューション：

高純度JGS1石英原料を採用。プログラム制御CNC超音波ドリルによる六角穴アレイ加工後、応力緩和焼鈍しと両面光学研磨を実施。穴間公差は±0.03 mmと厳密に管理。

プロジェクト結果：

ガス拡散均一性は94%以上に達しました。プレートは7ヶ月間の周期的な高温実験で、ひび割れや歪みなく連続稼働しました。同研究所は、その後の研究バッチのためにリピート注文を出しています。

タイトル：光学コーティング装置用精密マイクロ穴あき石英真空チャックプレート

顧客背景：欧州の光学機器メーカー

顧客要件：

真空吸着用の高密度マイクロ穴アレイを持つ厚い石英プレート。開口径0.3 mm、穴ピッチ1.5 mm。穴周りにマイクロクラックがないこと。このプレートは、レンズコーティング位置決め治具として、真空および高UV環境下で使用されます。従来の機械加工では、欠けや隠れたマイクロクラックが発生しやすいです。

当社のソリューション：

ピコ秒レーザー精密穴あけ加工と、熱影響ゾーンを最小限に抑えるためのグラデーションエネルギーパラメータを採用。後処理として化学研磨と完全焼鈍しを実施。全ての穴は金属顕微鏡で検査。

プロジェクト結果：

受入検査で穴縁のマイクロクラックはゼロでした。真空吸着性能は、機械仕様を完全に満たしています。顧客は、サンプル検証後、このタイプの石英部品の調達を全て当社に移管しました。