October 27, 2025
石英ガラスの分類と使用プレート
高い熱安定性と光学的な透明度で知られる石英ガラスプレートは、材料の純度と加工技術に基づいて分類され、多様な産業用途を可能にします。
以下に主なカテゴリーとその用途を示します。
1. 材料分類
溶融シリカプレート: ≥99.99%の二酸化ケイ素で構成され、優れたUV透過性と耐熱衝撃性を備え、半導体リソグラフィーやレーザーシステムに最適です。
ホウケイ酸石英プレート: 酸化ホウ素を添加することで、より低いコストで熱安定性が向上し、実験装置や工業用加熱用途に適しています。
オキシハライドテルライトプレート: 光学デバイス用に特化しており、高度な光学フィルタリングと発光技術を可能にします。
半導体製造: 高純度石英プレートは、ウェーハ処理や拡散チャンバーの基板として機能し、汚染のない環境を保証します。超低金属不純物（<0.5ppm）と最大1200℃までの熱安定性を必要とするウェーハ処理および拡散チャンバーの基板として使用されます。
再生可能エネルギー: 太陽熱受熱器に使用され、これらのプレートは光学効率を維持しながら極端な温度に耐えます。
原子力技術: 最大34.5 MPaの耐衝撃性試験済みで、石英プレートは、高圧条件下での燃料挙動を監視するために原子炉観察システムに採用されています。
光エレクトロニクス: UV透過性プレートは、マイクロ光学デバイスでの正確な光透過を可能にし、JGS1グレードの材料は170〜2500nmの範囲で>80％の透過率を達成します。
石英ガラスプレート市場は、半導体製造とフォトニクス技術の進歩により、堅調な成長を遂げています。高純度石英プレート（≥99.99% SiO₂）は、極端紫外線（EUV）リソグラフィーおよびレーザーシステムに不可欠です。
