高精度,高温耐性 クォーツ・ウェーファーキャリア ボート・ミア
2026/08/22
クォーツウェーハキャリア
世界の半導体、新エネルギー太陽光発電、高度な科学研究分野において不可欠なコア高温治具として、当社のクォーツウェーハキャリアは、純度99.99%以上の超高純度溶融石英で作られています。この製品は、1000℃から1750℃の連続的な極高温環境下で、ウェーハ、シリコン部品、精密実験サンプルを安定して支持するように特別に設計されています。これにより、低グレードの一般的な石英治具で頻繁に発生するプロセス汚染、ワークピースの変形、偶発的な亀裂などの潜在的なリスクを効果的に排除します。
このキャリアは、すべてのコア指標において業界をリードする性能を発揮します。極めて低い残留金属イオンと水酸基含有量の厳格な管理により、数百時間連続して高温で稼働しても不純物が放出されず、重要なチップ製造プロセスに制御不能な元素汚染が導入されるのを防ぎます。熱膨張係数は一般的なソーダ石灰ガラスの1/20未満であり、独自のマルチグラデーション徐冷プロセスにより内部残留応力を完全に除去できます。そのため、高温管炉での数千回の急冷・急熱サイクルを経ても、このキャリアが割れたり変形したりすることはありません。完全CNC精密加工技術により、全体の寸法公差とスロット間隔公差が保証され、ウェーハとスロットの完璧なフィット感が得られ、高速伝送および高温処理中の滑り、固着、または引っかき傷を完全に回避します。同時に、ほとんどすべての酸、塩基、および一般的な有機試薬（フッ化水素酸を除く）に対して優れた長期耐食性を持ち、高温拡散からその後の湿式洗浄までの完全なプロセスフローに適応できます。
内壁加工や端面精密研磨を含む、あらゆる深加工サービスをサポートしています。小ロットの試作注文は15日以内に安定して納品可能です。製品シリーズ全体がISO9001品質マネジメントシステム認証およびRoHS環境認証を正式に取得しており、グローバルな精密製造顧客の厳格な調達基準を完全に満たしています。
