October 17, 2025
石英ボートは、高温と腐食に強い高純度石英材料で作られたボート型のデバイスの一種です。その独特の物理的および化学的特性により、さまざまなハイテクおよび産業分野で幅広い用途があります。
主な特徴（主な特性）
1.高温耐性：1000℃以上の温度に耐えることができ、半導体拡散、酸化などのプロセスに適しています。
2.化学的安定性：強酸（フッ酸とリン酸を除く）および腐食性ガスに対して高い耐性があります。
3.低熱膨張係数：高温での寸法安定性を確保し、シリコンウェーハや結晶の変形を防ぎます。
4.高純度：金属不純物含有量が非常に少なく（水酸基含有量の厳格な管理など）、半導体用途の要件を満たしています。
以下に、その主な応用分野と技術的特徴を示します。
一、半導体製造：
1. シリコンウェーハの支持と輸送：チップ製造プロセス中、石英ボートはシリコンウェーハを保持するために使用されます。高温プロセス（拡散、酸化、アニーリングなど）中に安定性を保ち、汚染や変形を防ぎ、チップの品質を保証します。
2. エッチングおよび拡散プロセス：エッチングマシンチャンバーまたはサンプルホルダーの主要コンポーネントとして、石英ボートは、約1000℃の石英炉管内でホウ素やリンなどの元素の拡散を可能にし、集積回路の特性サイズに直接影響を与えます。
二、太陽光発電産業
1. ソーラーパネルの製造：石英ボートは、太陽光発電材料を保持するために使用され、高温処理と腐食性溶液に耐えることができ、それによって太陽電池の光電変換効率と耐用年数を向上させます。
2. シリコンウェーハ拡散プロセス：新型の太陽光発電石英ボートは、さまざまなサイズのシリコンウェーハに対応できるように調整可能な機能を備えており、個別の洗浄によって清浄度が向上し、拡散の均一性が最適化されます。
三、化学工学および冶金
1.耐腐食性反応容器：反応タンクや蒸発器の内張りとして、または移送装置として、石英ボートは高温、高圧、強酸、強アルカリに耐えることができ、化学設備の安定した運転を保証します。
2. 酸性溶液処理：高温耐性ガス用の燃焼および冷却装置、ならびに酸性溶液の蒸発および保管に適用されます。
石英ボートの主な利点は、その高温耐性（1000℃以上）、耐腐食性（強酸および強アルカリに耐えることができる）、および高い光透過率にあります。これらの特性により、半導体や太陽光発電などのハイエンド製造分野で不可欠なツールとなっています。
