October 18, 2025
大径クォーツガラス管は,通常,外径が100mm以上,500mm以上のものを指します. 独特の物理的および化学的特性により,高級産業や技術分野では不可欠な応用があります.
Lianyungang Shengfanクォーツ製品株式会社は,プロのクォーツ製品のメーカーです,カスタムサポートすることができます.
大直径クォーツチューブ加工生産ライン,クォーツ機器生産ライン,クォーツボート生産ライン半導体の溶接部品の生産ラインなども設置しました.
大直径クォーツチューブ加工生産ラインでは,最大直径OD 1000mm.長さ5000mmを製造できます.直径の許容度は最大で+/-0.2mm,平度は+/-0.2mmです.
大径クォーツ管の主要用途は:
1半導体産業:
チップ製造では,クォーツ管は拡散,酸化,焼却などのプロセスにおける主要な消費品である.
·水平拡散炉管:これは最も古典的な用途である.大径クォーツ管が反応室として機能し,シリコンウエファが管内に置かれます.高温条件下では特殊なガス (酸素,窒素,アルゴンなど) が加えられ,シリコン二酸化物層を形成する熱酸化が行われます.または,シリコンの電気特性を変更するために不純物を導入する炉管の直径は,大量のシリコンウエファーを運ぶ"クォーツボート"を収容するのに十分な大きさでなければならない.
●垂直管炉: 技術の進歩により,垂直プロセスは主流になりました.ここで,大径のクォーツ管がプロセス室として機能します.LPCVD (低圧化学蒸気沉積) と拡散などのプロセスのために,チューブ内側に垂直にシリコンウエファーが配置されますこれらのプロセスは,クォーツ管の丸さ,垂直性,固有の品質に非常に高い要求事項を持っています.
2ソーラー・セル製造
半導体産業と同様に,太陽光発電の水晶シリコン電池の製造に使用されている.
